HMDS 烘箱
HMDS oven
应用领域： 适用于晶圆光刻前预处理，以增强光刻胶粘结牢度
设备类型： 真空烘箱
晶圆尺寸： 100mm～200mm
作业方式： 手动、自动档位切换控制
典型工艺： 氮气携带药液
设备配置： 四面远红外加热板加热
可编辑菜单
风冷式真空泵
短路保护
漏电保护
超温保护，独立感温式超温保护器
工艺指标： 温度范围：RT+20～200℃ 温度分辨率：0.1℃
升温速率：室温→150℃ 升温速率：≤45分钟
真空度≤133Pa(1Torr)
可靠性能： Uptime≥95% MTBF≥600 hours
MTTR≤3 hours
