PI固化烘箱

应用领域：         适用于晶圆制造过程中聚酰亚胺光刻胶的固化

设备类型：         热氮循环烘箱

晶圆尺寸：         100mm～200mm

作业方式：          手动

典型工艺：         聚酰亚胺光刻胶固化

设备配置：         高精度温度控制器、内置斜率设置、PID自整定、高温 上限报警
                         热电偶失效指示等功能、可编辑菜单

                         耐高温超洁净HEPA

                         多通道温度检测系统(6点),实时记录

                         氧含量分析仪，全程检测并记录

冷却系统：         风冷+水冷                                        排气口配置自动风门

                         短路保护                                           漏电保护

                         超温保护，独立感温式超温保护器        电磁门禁保护，电子锁自动锁紧

                         工作室尺寸根据客户需求定制

工艺指标：         洁净度：Class100                   温度范围：RT+50～400℃

                         温度分辨率：0.1℃                  温度均匀性：≤±1.5%

                         升温速率：1～8℃/min, 可调    降温速率：平均4℃/min(80℃ 以上时)

                         氧含量≤20ppm

可靠性能：         Uptime≥95%                    MTBF≥600 hours

                         MTTR≤3 hours