无尘烘箱
Dust-free oven
应用领域： 适用于衬底材料、晶圆、备件及工夹具的干燥
设备类型： 热氮循环烘箱
晶圆尺寸： 100mm～300mm
作业方式： 手动
典型工艺： 光刻胶坚膜
晶圆干燥
备件及工夹具等干燥
设备配置： 高精度温度控制器
耐高温超洁净HEPA
超温报警
短路保护
漏电保护
超温保护，独立感温式超温保护器
电磁门禁保护，电子锁自动锁紧
工作室尺寸根据客户需求定制
工艺指标： 洁净度：Class100
温度范围：RT+20～200℃
温度分辨率：0.1℃
温度均匀性：≤±1.5%
升温速率：1～8℃/min
可靠性能： Uptime≥95% MTBF≥600 hours
MTTR≤3 hours
