化学品供应系统
Center Chemical Dipense System
应用领域： 半导体湿法设备供液系统
设备类型： 集中供液系统、本地供液系统
晶圆尺寸： 100mm～300mm
作业方式： 手动、全自动
适用药液： EKC、NMP、H2SO4、HF、HCL、H2O2、H3PO4、NH3·H2O、
BOE、NaOH、KOH、TMAH、IPA、Mixed Acid
设备配置： 浓度配比
自动供液
自动流量控制
漏液监控
自动灭火系统(易燃易爆化学药液)
药液桶(1Gal/25L/200L/1T)
单桶单泵/双桶单泵/双桶双泵
支持SECS/GEM通讯协议
可靠性能： Uptime≥95%
MTBF≥600 hours
MTTR≤3 hours
