炉管清洗机

应用领域：         立式扩散炉、卧式扩散炉的炉管清洗

设备类型：         立式扩散炉、卧式扩散炉的炉管清洗

晶圆尺寸：         100mm～300mm

作业方式：         手动、半自动、全自动

典型工艺：         Mixed Acid

                         DHF

可靠性能：         Uptime≥95%

                         MTBF≥600 hours

                         MTTR≤3 hours

设备配置：         化学药液集中供液

                         自动配液、换液

                         循环、过滤

                         旋转炉管、纯水喷淋

                         化学药液回收

                         漏液监控

                         氮气干燥

                         支持SECS/GEM通讯协议